第403章 让你热馒头，你跟锅盖分析受热变形？（1 / 3）
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顾晴挠了挠头髮，乾笑了一声，赶紧打圆场。
“懂了懂了。刚才就是嘴碎，话顺著嘴边禿嚕出来了。”
顾昭昭把那份年报重新推回她眼皮底下。
“你能懂，说明你比大部分人都聪明。好奇是人类的正常生理反应，但科研保密，从来不按血缘亲情来分配权限。”
顾晴被噎得翻了个白眼。
“你这话听著是真硬邦邦的，但我居然觉得该死的有道理！”
顾昭昭重新捏起铅笔，一秒切回学霸辅导模式。
“接著看你的参数表吧。这个没出公开范围，隨便讲。”
顾晴那点小尷尬瞬间被这句话给扫空了，立马坐得溜直。
“讲讲讲！今天高低得把你脑子里的墨水多榨点出来。”
顾昭昭在白纸上刷刷列出蒸镀功率、沉积速率、基板温度三列数据，又补了个膜厚均匀性。
“你这组数据最大的坑，就是把功率和生长速率当成简单的线性关係来算了。”
顾晴眉头拧成了一个疙瘩。
“不是功率给得越大，长得就越快吗？”
“在低功率区你可以这么凑合算，但越过一定閾值后，基板表面的迁移过程就成了拖后腿的限制因素。这时候你功率还不管不顾地往上猛加，速率不但不会按比例涨，反而会让表面粗糙度直接飆升。”